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한양대학교 산학협력단

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연구성과 > 최근 R&D수주성과

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사업주무부처 과학기술정보통신부(2017Y)
지원기관 (재) 연구성과실용화진흥원
사업명 대분류사업명 : 산학연협력
중분류사업명 : 공공연구성과기술사업화지원
소분류사업명 : 중대형복합기술사업화지원
사업구분 정부지원연구
연구과제명 극박막 평가 플랫폼을 활용한 양산용 EUV 펠리클 구조 설계
연구자 안진호
연구자소속 서울 공과대학 신소재공학부
총 연구기간 2017.07.01 ~ 2019.12.31
당해연도 연구기간 2018.01.01 ~ 2018.12.31
당해연도연구비수주액 306,000,000원
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